数显式气体质量流量计价格,气体层流质量流量计

关于MFM和MFC

1、 质量流量计,质量流量控制器的概念

质量流量计,即Mass Flow Meter (MFM),是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。

质量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机连接自动控制的气体稳流装置。

简单来说,质量流量计只测量不控制。而质量流量控制器,则带有控制阀门,既可以测量也可以控制气体流量大小。

2、 质量流量计,质量流量控制器的流量单位

气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 来表示,亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之处。

如果需要单位时间内流过的质量(如g/min),可以查阅标准状态下的气体密度,然后作乘法就可以了。

3、质量流量计/质量流量控制器的主要的优点

(1) 直接测量气体的质量流量

热式质量流量计直接测量流体质量流量,输出质量流量信号,无需其他设备,如温度测试仪和压力表,也无需进行换算。

(2) 无可移动部分

本身无类似转轴等的移动部件,增加了本身的可靠性,无需机械维护。

(3) 可以精确的测量微小流量,采用分流装置,又可以测量大流量,而且温度,压力范围很大。

(4) 测量控制的自动化

质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示,流量自动计量,数据自动记录,计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。

(5) 精确地定量控制流量

质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制,是用于对于不同气体的比例控制等。

(6) 准确度高,重复性好

准确度可达+-1%F.S(full scale)重复性为+-0.25%F.S(full scale)

(7) 体积小巧,安装方便,操作简单

(8) 技术先进,符合发展潮流

4、使用质量流量计/质量流量控制器应注意的问题

(1)被测气体需要清洁。

注意不要造成气路堵塞,当质量流量控制器出现某些故障,或气源不洁导致传感器或分流器堵塞,或因操作失误,均有可能造成堵塞。对于的用户而言,应当特别给以注意,既要选择合适的型号,又要正确进行系统设计和正确使用。

(2)一般以氮气(N2)来标定,如用其 他气体时需要进行换算。

5、区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合

一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,但质量流量控制器更好用。

6、不同气体的质量流量的换算

产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时, 实际的流量值可能不同。我们在说明书中可见给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,在此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时, 以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体,其转换系数约为1.0,一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。如七星华创产品说明书提供的气体质量流量转换系数表:

对于多组分气体,其流量转换系数问题请根据产品使用手册中提供的计算公式计算, 或向厂家进行技术咨询。

7、质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。

8、使用挥发性液体蒸发汽,气压很低,如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源(如用丙酮等),气压很低,用普通MFC,不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明,定制低压降的质量流量控制器。 通常可定制工作压差低于0.01MPa的MFC,这时MFC的工作压差范围,也会变小。注意使用挥发性液体蒸发汽时,不能让汽化物在MFC中结露,结露会影响MFC的正常工作。为防结露,可以对管路和MFC适当加温,但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上,需要特殊购买高温产品。

9、质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?如何选择密封材料?

质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。

采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC。由于金属密封的MFC价格较高,通常要求不高的场合,均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明,MFC都采用氟橡胶密封,可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体,需要采用特种橡胶。氨气—需要采用耐氨橡胶,如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)—需要采用硅橡胶;三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等—需要采用全氟橡胶。

10、在选购气体质量流量计及质量流量控制器需要关注哪几个方面?

1) 选一个适合的品牌

同等条件下,知名的品牌带来的技术支持及售后保证相对完善。

2)选择正确的量程

A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量(质量流量)。

B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表,将您所用气体的质量流量值换算成与氮气(标定气体)等价的质量流量值。

C. 确定所需标准量程。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的,如果实际流量较小而量程值选取过大,则测量值的相对误差较大。

3) 注意选择正确的工作压力指标

最大工作压力及工作压差

4) 选择合适的精度指标

准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标,其中重复精度在很多应用场合尤为重要。

5) 选择合适的响应时间指标

在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。

6) 安装位置有无要求

水平位置安装还是垂直安装。

7)气体对于密封材料的要求

如使用的气体具有腐蚀性,这些腐蚀性气体对于密封材料有着更高的要求。

8)零点的稳定性

不同的产品零点稳定性可能是不一样的。

9) 适用范围

MFM/MFC对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质情况等均有一定适用范围,请注意阅读说明书或向厂家咨询。

10)订购明细

产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(如腐蚀性气体)、接头形式和数量等。

(1)水平安装。在条件允许的情况下,质量流量计要实现水平安装,这样能保证其正常工作。

(2)前后留出足够的直管段。流体在管道内的流态比较复杂,不同流态下的质量流量计有不同的工作状态,影响其测量精度。前后留出直管段,可以保证流体处于层流状态,更接近出厂标定环境,从而具有更高的计量精度。

质量流量计

(3)远离振动源。质量流量计本身的工作原理,就是依靠振管自身的震动来实现流量计量的。如果外界有振动源就会相互干扰,从而影响产品的计量精度,甚至会造成仪表停振。如果现场原因无法避免而距离太近,必须在仪表与振动源之间安装膨胀节以减缓外界振动对仪表的影响。

(4)流量计的安装位置应尽量安装在管道最低处。流量计在使用时一定要充满液体,安装在最低处可以保证管道内时刻充满液体,仪表使用在间段送料的环境中,可以避免开启和停止送料时管道的空化,造成计量误差。

(5)传感器箱体下面不能有支撑物。许多用户在安装质量流量计时,为了方便在箱体下垫支撑物,当安装完毕也不会把支撑物去掉,这样会影响计量精度。因为支撑物会影响传感器的振动,从而影响到计量精度。

(6)变送器要安装在通风干燥的地方,避免在变送器上堆放杂物,避免阳光直射,这样会影响仪表的使用寿命。

(7)变送器与传感器间的连接电缆一定要用厂家提供的带屏蔽层的专用电缆,而且屏蔽线要一端接地,保证屏蔽线上各点处于等电势状态,而且传感器外壳和变送器外壳要牢固接地。

以上是对现场质量流量计现场安装的一些体会,按照如上要求进行安装调试,仪表一般都会有很好的计量效果。